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真空泵使用時間長了里邊就該產生一些雜質，由于起攻擊主要是用水，由于工藝用水、 鈣鎂硬度、PH值、電導率、總堿度、溫度等因素產生結垢現象，容易產生一些類似水壺里的水銹類型的物質從而危害真空泵的正常使用，從而造成如下危害：
1. 增大非計劃停機次數，造成生產間斷，影響裝置的生產效率。停機清洗，增加維修費用和額外的勞動負荷；
2. 增大化學品的消耗和污染負荷；
3. 造成生產事故，減少設備壽命；
4. 增大能耗損失。
解決方法：
傳統修復方法有停機化學清洗、停機高壓水清洗、添加阻垢劑、人工機械清洗、停機拆卸更換等方法，但較為費時費力，且修復效果并不理想。針對上述問題，國外先進的維護方法多使用電子除垢儀解決。相對傳統維修方法，電子除垢儀在操作限制、防止管垢形成、防銹預防細菌等方面更為出色，同時費用支出更少，不污染環境和水質，在真空泵的維護保養方面有了越來越多的應用。